該金屬隔膜閥20由圖4及圖5所示的那樣，由以下部件構(gòu)成在流入路21與流出路22連通的閥室23底面上設(shè)置有閥座24的閥體25，為保持閥室23的氣密性、在閥體25上設(shè)置中央部向上膨出的金屬隔膜26，使金屬隔膜26覆蓋壓在閥座24上、并使其從閥座24上離開時、金屬隔膜恢復(fù)自己原來的形狀的驅(qū)動裝置27，在閥室23的下方形成的、與流出路22連通的環(huán)狀溝28。
那么，圖4及圖5所示的金屬隔膜閥20，由于形成環(huán)狀溝28，閥座24的口徑變大，即使金屬隔膜的行程不大，能實現(xiàn)大流量流動。也就是說，與沒有形成環(huán)狀溝28的情況相比、使表示流體易流動性的數(shù)值Cv值變大。
發(fā)明要解決的課題以前的金屬隔膜閥20，由于形成環(huán)狀溝28，將其與流出路22相通，相對于環(huán)狀溝28的溝寬，流出路22的直徑D1，特別是環(huán)狀溝28的底面鄰近的(垂直部分)直徑小。其間流體被節(jié)流，通路阻力變大，從閥室23至流出路22的整體流路實現(xiàn)不了大流量流動，其結(jié)果，不能實現(xiàn)更大的Cv值。
另外，為了使流出路22的截面積變大，首先并排穿設(shè)2個縱向孔22a、22b，然后，采用將其內(nèi)圓周整形的辦法，然而存在流出路22的加工過于麻煩的問題。
更進一步，環(huán)狀溝28的底面寬度W1方面也存在著，由于比流出路22的上端直徑D1大，在兩者的連接部分產(chǎn)生流體節(jié)流的現(xiàn)象，使流路阻力容易變大的問題。
